AOI-W500是针对晶圆表面缺陷检测的精密设备,检测方式采用机器视觉检测。设备具有同时检测上下两个面功能,根据工业相机成像的图形结果进行缺陷特征识别,并通过特定算法对缺陷进行判断并分类,从而实现晶圆表面缺陷检测功能。
▪ 检测精度:0.5μm
▪ 检测准确率:≥99.8%
▪ 检测缺陷种类:残胶、脏污、破损、裂纹、划痕、区域异色、图形异常、尺寸异常等外观瑕疵。