湖南奥创普科技有限公Hunan Ultra Precision Intelligent Technology Co.,Ltd.

晶圆智能自动检测机 AOI-W500

检测精度 Detecting Precision:0.5μm
检出准确率 Detection Accuracy:≥ 99.8%
设备占地面积(含操作区域):2050mm×1600mm
产品详情

AOI-W500是针对晶圆表面缺陷检测的精密设备,检测方式采用机器视觉检测。设备具有同时检测上下两个面功能,根据工业相机成像的图形结果进行缺陷特征识别,并通过特定算法对缺陷进行判断并分类,从而实现晶圆表面缺陷检测功能。

▪ 检测精度:0.5μm

▪ 检测准确率:≥99.8%

▪ 检测缺陷种类:残胶、脏污、破损、裂纹、划痕、区域异色、图形异常、尺寸异常等外观瑕疵。


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