AOI-W500是针对晶圆表面缺陷检测的精密设备，检测方式采用机器视觉检测。设备具有同时检测上下两个面功能，根据工业相机成像的图形结果进行缺陷特征识别，并通过特定算法对缺陷进行判断并分类，从而实现晶圆表面缺陷检测功能。检测项目包括残胶、脏污、破损、裂纹、划痕、区域异色、图形异常、尺寸异常等外观瑕疵。